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電子級氫氟酸

電子級氫氟酸

產品詳情

  電子級氫氟酸對金屬和玻璃有很強的腐蝕性,是重要的化學試劑,因其具有清洗和蝕刻的兩大功能而普遍應用于半導體、太陽能面板和液晶面板的制作過程中。它對于微電子行業的安全性具有很重要的作用,在其生產、測試、包裝、運輸等各個環節均有嚴格的管控制度,以保障質量進而保障微電子產品制作過程的順暢。

  生產技術:

  電子級氫氟酸一般可通過精餾、亞沸蒸餾、氣體吸收等工藝制備。由于氫氟酸的強腐蝕性,因此采用蒸餾工藝時所使用的蒸餾設備一般以鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯材料制造。

  目前我國較為常用的工藝路線是精餾法,其過程大致為:原料酸-+化學處理-→連續精餾-→吸收塔->超凈過濾-+成品分裝-+包裝。

  無水氫氟酸中所含的大部分雜質一般以氟化物的形式存在,具有很高的沸點,所以在精餾過程中能被較好地分離出去。雜質中三氟化砷的沸點相對氫氟酸差距較小,因而增加了雜質砷的去除難度。只是依靠精餾操作對其分離的效果欠佳,砷的前期處理成為生產的一個關鍵工序。

電子級氫氟酸生產過程中脫除砷的方法主要經歷了硫化物法、電解法、離子交換法和氧化法等。

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