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石墨專用氫氟酸生產起來有多難
- 2020-03-09-

  前段時間,日本和韓國兩個鄰居又吵起來了,而日本直接使出了大招,限制高純氟化氫、氟聚酰亞胺和光刻膠向韓國出口。這三種材料都是半導體行業使用的,掐中了韓國的命脈。今天說說,這個石墨專用氫氟酸,生產起來有多難。

  氟化氫和HF

  氟化氫是一種有毒氣體,溶于水形成氫氟酸。它是一種弱酸,具有特殊腐蝕性,所謂特殊腐蝕性,是指它能腐蝕其他強酸所不能腐蝕的玻璃、單晶硅等半導體材料。在半導體生產工藝中有重要應用。

  它的生產并不困難,其主要原料是螢石,而我國螢石的探明儲量與南非并列,按說是具有自己的優勢的。但應用于半導體生產的HF可不是普通的HF,是超凈高純的電子級氫氟酸。普通工業級HF,洗個玻璃還行,用來洗半導體,基本上只能生產出廢品來。因為普通工業級HF,含有大量雜質,這些雜質對芯片生產是要命的。

  那高純氟化氫有多純呢?以前我們都聽說過千足金的說法,也就是純度很高,只含有0.1的雜質,后來又有人提出萬足金,就是只含有0.01的雜質。而日本產的上限純度的石墨專用氫氟酸純度為99.9999999999甚至更高,這個在目前新的芯片生產工藝中都可以使用。而中國目前能生產的較高的純度也比這個純度低十倍左右,而這只是其中一個指標,此外還有控制粒徑、顆粒個數等指標。

  看到這里,你是不是對于我國的生產工藝與日本的差距有了一個大體的了解了?石墨專用氫氟酸的生產這么難,我們還需要繼續研究,取得更大的進展。