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電子級氫氟酸的工藝
- 2020-11-13-

     1.分析控制和產品測試要求高。用于電子級氫氟酸制備的儀器有:

 ?。?)電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS);

 ?。?) 電感耦合等離子體原子發射光譜法(ICP-AES);

 ?。?) 原子吸收分光光度計;

 ?。?) 氧原子發生無焰原子吸收分析儀;

 ?。?) 離子色譜分析儀;

 ?。?) 激光散射液體粒子計數器;

 ?。?) 水面雜質分析系統;

 ?。?) 原子力顯微鏡;

 ?。?) 光學顯微鏡粒子計數器;

 ?。?0) 掃描電鏡;

 ?。?1) 光學薄膜厚度測量及表面輪廓儀;

 ?。?2) 表面張力測試儀;

 ?。?3) 空氣中的塵埃粒子探測器;

 ?。?4) 水電阻測試儀。

  2.水質要求高,電阻率不小于18.0mq●cm。

  高純水的主要控制指標是電阻率和固體顆粒。目前生產的氧化硅、氧化劑總濃度等指標都比較高

  利用反滲透、電滲析等多種膜技術可以得到高純度的水。

  3.主要生產設備材料、設備制造工藝、包裝工藝要求較嚴格。

  4.工廠“房間、分析室、倉庫等環境清潔度要求高,與成品接觸部分應達到較好的

  水平。

  5.整個生產過程對產品質量管理的要求很高。

  質量標準:

  目前,由于微電子廠商對電子級氫氟酸的要求不同,可分為四個:

 ?、?低品位產品,用于制造大于1.2μm集成電路的工藝技術;

 ?、?中低檔產品,適用于0.8~1.2μmic;

 ?、?中端產品,適用于0.2-0.6μm集成電路工藝;

 ?、?較好的產品,適用于0.09-0.2μm和<0.09μm集成電路工藝。

  產品包裝方式:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工藝制成25kg塑料桶。

  好了,關于電子級氫氟酸的生產工藝就與大家分享到這里,有什么問題可詳細咨詢濰坊日騰化工有限公司將竭誠為您服務。