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電子級氫氟酸的介紹
- 2021-08-23-

  電子級氫氟酸是無色透明液體,相對密度1.15~1.18,沸點112.2℃。它在空氣中散發煙霧,有刺鼻的氣味,并且劇毒。它能與一般金屬、金屬氧化物和氫氧化物反應生成各種鹽。它具有高度腐蝕性,可腐蝕玻璃和硅酸鹽,形成氣態四氟化硅。易溶于水和乙醇,但難溶于其他有機溶劑。高純氫氟酸是一種強酸清洗和腐蝕劑,可配置硝酸、冰醋酸、過氧化氫和氫氧化銨。

  電子級氫氟酸的制備方法

  1、 蒸餾法

  2、 蒸餾

  3、 亞沸騰蒸餾

  4、 減壓蒸餾

  5、 氣體吸收

  生產過程

  經過化學預處理后,無水氫氟酸進入蒸餾塔。通過蒸餾操作,獲得的氟化氫氣體在吸收塔中被超純水冷卻和吸收。通過控制噴淋密度和氣液比進一步純化電子氫氟酸,然后在m以下的超濾過程中進行0.2μ的純化,在密閉、清潔的環境條件下灌裝得到產品。

  用途

  可用于集成電路和大規模集成電路芯片的清洗和腐蝕。是微電子工業制造過程中的關鍵基礎化學材料之一。也可用作分析試劑和高純度含氟化學品的制備。在我國,它基本上被用作微電子行業的蝕刻劑和清洗劑,在其他方面的消耗較少。

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