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電子級氫氟酸的用途
- 2021-02-05-

    電子級氫氟酸用于集成電路和大規模集成電路的制造。氫氟酸是主要關鍵輔助的材料之一,主要用于晶片加工過程中的晶片表面清洗、清洗和刻蝕。在太陽能光伏產業中,它應用于硅片表面清洗、蝕刻劑等領域。從硅錠到硅片再到電池片的工序:清潔和天鵝絨制作將使用該產品。在液晶顯示器行業中,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕刻劑等,也較廣的應用于TFT-LCD和半導體行業。也可用作分析試劑、原子能工業用化學試劑和高純含氟化學品的制備。

  產品分類:

  電子級氫氟酸按用途不同分為UPSs、UPS、up、El等牌號。

  UPSs:適用于0.09~0.2μm及<0.09μm的IC工藝。

  UPS級:適用于0.35-0.80um IC加工工藝,金屬雜質含量小于1.00ug/l,0.05um孔徑過濾,0.20ixm顆??刂?,填充于100級凈化環境,達到8級標準。

  上行:適用于1.00um集成電路和TFT-LCD制造工藝。金屬雜質含量小于10mg/kg。帶0.20um孔徑過濾器的過濾器,用于控制0.50um顆粒。灌裝100級凈化環境,達到7級標準。

  El級:金屬雜質含量低于100mg/kg,粒徑控制在1.00um,達到半C1、C2標準。適用于中小型集成電路和電子元器件的加工工藝。

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