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電子級氫氟酸的市場需求
- 2021-08-09-

  電子級氫氟酸是通過進一步處理無水氫氟酸獲得的高端氫氟酸產品。主要用于集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗和腐蝕。它是微電子工業生產的關鍵基礎化工原料之一。據海關統計,2017年,我國半導體用高純電子級氫氟酸8638.98噸,價格在16.9元至27元/千克之間。目前,國內消費量占國內需求的比例不到5%,幾乎完全依賴國外。

  目前,主要應用于集成電路、太陽能光伏和液晶顯示領域,其中較大的應用市場是集成電路,約占總消費量的47.3%;其次是太陽能光伏領域,約占22.1%;此外,在液晶顯示的領域,約占18.3%。

  據集成電路行業人士介紹,半導體中的金屬離子雜質會影響少數載流子壽命、表面電導率、柵氧化層完整性和穩定性等參數,而金屬離子雜質在高溫或電場作用下會擴散到半導體體或擴大其在表面的分布,導致半導體性能下降,因此對金屬離子的含量要求非常嚴格,適用的晶圓半徑越大,制造工藝越優良,對金屬離子含量的要求就越高。

  半導體用電子級氫氟酸中所有單一金屬雜質的質量分數≤ 0.1μG/L,相當于半國際通用標準級中4級(G4)以上的氫氟酸;對應于國內行業標準中up ss及以上的電子氫氟酸。對于世界上主流的12英寸晶圓,制造過程中的金屬離子含量需要小于0.0001μG/L,對應于半級5(G5)或sss標準以上。

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